激光功率5W-150W
激光波长355nm 532nm 1064nm
扫描精度±2μm
光斑尺寸30μm
CCD同轴
CCD像素2000万
载台尺寸150mm*150mm
X*Y*Z*Z*T*R150*150*250*50°*360°
视野FOV70*70
M²＜1.2
重复频率1-4000KHz
脉冲长度1~400
公司拥有多项核心技术，在快速发展和自主产权方面有特的优势。 和相关院校研究所建立良好关系并设联合实验室，在应用和理论研究提供更为广泛帮助。
芯片激光开封设备应用于芯片失效分析开封检测，实时检测开封过程
叠die的精准开封，激光开封和交叉配合滴酸开封，无损开封任何芯片至晶圆层.开封精度可控制至0.25mm。残留在晶圆层上的树脂层可控制薄至50微米。更多数字化电子控制开封工艺，可逐层开封多晶圆层堆叠芯片。
激光芯片开封机的作用是去除芯片封胶，同时保持芯片功能的完整无损，可移除任何塑封器件的封装材料，主要应用于半导体器件的失效分析和检测。
激光开封机就如FA失效分析实验室的手术刀，助力FA实验室失效分析分析。
苏州飞镭激光科技特的远程服务：飞镭技术服务团队为所有的激光系统提供远程服务。在激光头和供电单元里装有许多传感器，测量数以百计的数值。如果您需要，我们的服务可以通过远程访问来进行快速诊断并且能够解决大多数问题。欢迎来电咨询。
http://yga1927.cn.b2b168.com
