激光功率5W-150W
激光波长355nm 532nm 1064nm
扫描精度±2μm
光斑尺寸30μm
CCD同轴
CCD像素2000万
载台尺寸150mm*150mm
X*Y*Z*Z*T*R150*150*250*50°*360°
视野FOV70*70
M²<1.2
重复频率1-4000KHz
脉冲长度1~400
飞镭激光科技有限公司,立志成为**的激光集成解决方案提供商。致力于激光工业应用的研发、生产、销售的高科技企业。专注激光微加工的应用创新及研发。核心团队成员拥有很强的创新和开发经验,在激光应用领域中不断的开发新工艺并不断创新,结合国内外**业的经验专注开发,通用型高精密加工平台,并结合高精密高速智能机器视觉系统,在此平台的基础之上开发精密切割系统、焊接系统、钻孔系统、自动检测系统,主攻微电子行业的应用,并拓展汽车配件、领域、食品快销行业的应用,自动化和客制化方面有更更深的发展。在玻璃激光切割钻孔,半导体硅片减薄,芯片蚀刻、芯片开封、芯片封盖等细分领域我们更专注并深耕。
叠die的精准开封,激光开封和交叉配合滴酸开封,无损开封任何芯片至晶圆层.开封精度可控制至0.25mm。残留在晶圆层上的树脂层可控制薄至50微米。更多数字化电子控制开封工艺,可逐层开封多晶圆层堆叠芯片。
激光开封机就如FA失效分析实验室的手术刀,助力FA实验室失效分析分析。
芯片激光开封设备应用于芯片失效分析开封检测,实时检测开封过程
视觉系统和激光系统的同轴,达到指哪打哪的功能,由其他失效分析设备生成的图像文件,可直接导入至机器的gmark软件。如: X-Ray、 SAM、 SEM 、 C-SAM等。导入的文件可在软件中进行缩放,增加功能,*贴图比对,直接在导入的文件中进行做图,以便精准定位开封。由此可将开封几何矢量形状画至图像上,选择区域全部开封,或仅开封缺陷位置或其他感兴趣位置,避开*开封位置,更易控制无损开封。
苏州飞镭激光科技的备品备件宗旨:备件保证,为达到**快响应要求,公司通过配件仓库为用户提供配件更换服务。在确认需要进行硬件更换时,抵达现场服务,为了保证故障及时得到修复,主要配件提供一备一用预案。欢迎来电咨询。
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