激光功率5W-150W
激光波长355nm 532nm 1064nm
扫描精度±2μm
光斑尺寸30μm
CCD同轴
CCD像素2000万
载台尺寸150mm*150mm
X*Y*Z*Z*T*R150*150*250*50°*360°
视野FOV70*70
M²<1.2
重复频率1-4000KHz
脉冲长度1~400
公司拥有多项核心技术,在快速发展和自主产权方面有特的优势。 和相关院校研究所建立良好关系并设联合实验室,在应用和理论研究提供更为广泛帮助。
激光芯片开封机的作用是去除芯片封胶,同时保持芯片功能的完整无损,可移除任何塑封器件的封装材料,主要应用于半导体器件的失效分析和检测。
视觉系统和激光系统的同轴,达到指哪打哪的功能,由其他失效分析设备生成的图像文件,可直接导入至机器的gmark软件。如: X-Ray、 SAM、 SEM 、 C-SAM等。导入的文件可在软件中进行缩放,增加功能,*贴图比对,直接在导入的文件中进行做图,以便精准定位开封。由此可将开封几何矢量形状画至图像上,选择区域全部开封,或仅开封缺陷位置或其他感兴趣位置,避开*开封位置,更易控制无损开封。
叠die的精准开封,激光开封和交叉配合滴酸开封,无损开封任何芯片至晶圆层.开封精度可控制至0.25mm。残留在晶圆层上的树脂层可控制薄至50微米。更多数字化电子控制开封工艺,可逐层开封多晶圆层堆叠芯片。
激光的逐层开封,可控制每一层激光扫描能量,每层移除厚度可控制在10~100 μm,精准定位开封区域,暴露引线框架,邦定线,基板,甚至直接开封至晶圆层。通过电动CCD视觉系统,针对**微小尺寸,可实现数字化定位。完全/部分开封暴露邦定线,清除线下树脂残留。显著节省后续工艺时间。
苏州飞镭激光科技特的远程服务:飞镭技术服务团队为所有的激光系统提供远程服务。在激光头和供电单元里装有许多传感器,测量数以百计的数值。如果您需要,我们的服务可以通过远程访问来进行快速诊断并且能够解决大多数问题。欢迎来电咨询。
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